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編制使用維護操作規程，建立運行記錄和修理檔案，統計運行累積工作時間，加強日常維護，掌握設備技術狀態變化趨勢，及早發現故障損壞苗頭，避免屬于事故搶修性質的熱修，并根據電爐子負荷和工作狀況，提前有針對性地準備修理用料，編制修理工藝。如合金元件的使用壽命長短與工作溫度、爐內介質、元件質量及操作情況等許多因素有關，其波動壽命6000～10000h。
工業爐一般在春秋季節泄漏故障較多，長期閑置時泄漏故障易發生。我廠采取每月一次測壓升率(在常溫下，關閉所有真空閥，停止真空系統運轉，1Omin后讀一個數，1h后再讀一個數，兩數之差是壓升率的數值)，掌握設備泄漏變化趨勢，如真空設備連續停機一個禮拜，要空運轉一次。
在工業爐系統檢漏時，除用泥糊堵外，也可用醫用針管吸乙醚射劍所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。